濕度是指大氣中的水蒸氣含量，通常采用絕對濕度和相對濕度兩種表示方法。絕對濕度是指在一定溫度和壓力條件下，每單位體積的混合氣體中所含水蒸氣的質量，單位為g/m3，一般用符號ah表示。相對濕度是指氣體的絕對濕度與同一溫度下達到飽和狀態的絕對濕度之比，一般用符號%rh表示。相對濕度給出大氣的潮濕程度，它是一個無量綱的量，在實際使用中多使用相對濕度這一概念。
濕敏傳感器是能夠感受外界濕度變化，并通過器件材料的物理或化學性質變化，將濕度轉化成有用信號的器件。濕度檢測較之其他物理量的檢測顯得困難，這首先是因為空氣中水蒸氣含量要比空氣少得多。另外，液態水會使一些高分子材料和電解質材料溶解，一部分水分子電離后與溶入水中的空氣中的雜質結合成酸或堿，使濕敏材料不同程度地受到腐蝕和老化，從而喪失其原有的性質，再者，濕度信息的傳遞必須靠水對濕敏器件直接接觸來完成，因此濕敏器件只能直接暴露于待測環境中，不能密封。通常，對濕敏器件有下列要求，在各種氣體環境下穩定性好、響應時間短、壽命長、有互換性、耐污梁和受溫度影響小等。微型化、集成化及廉價是濕敏器件的發展方向。 |
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